Mikroskopy

Polovodičové mikroskopy

Firma Nikon patří s polovodičovými mikroskopy řady L k významným dodavatelům inspekčních systémů pro kontrolu polovodičových waferů, fotomasek, optických mřížek a dalších substrátových panelů po celém světě. K dispozici jsou dva modely pro vzorky s průměrem 200 a 300 mm s možností pozorování v odraženém i procházejícím světle. Mikroskopy mohou být vybavené všemi kontrastními metodami včetně epi fluorescenčního pozorování v UV spektru vlnových délek.

K dispozici je komplexní softwarové řešení NIS‑Elements pro archivaci a digitální zpracování obrazu.     

Zobrazit více

Mikroskopy jsou speciálně navržené pro provoz v „čistých“ prostorech s různými stupni motorizace včetně automatického zakládání waferů pomocí systému NWL.

Klíčové vlastnosti
  • Speciální konstrukce stativu chrání mikroskop i vzorek před kontaminací nečistotami
  • Všechny dostupné kontrastní metody BF, DF, POL, DIC, FLUO
  • Objektivy Nikon CFI60 pro maximální rozlišení detailů v kombinaci s dlouhou pracovní vzdáleností
  • Motorizované a ergonomické prvky
  • Software NIS-Elements v ČJ