Video měřicí systémy
Přesné metrologické přístroje zajišťující nejvyšší kvalitu v celém výrobním procesu. Založeny na excelentní optice Nikon představují nové standardy pro měření jemných struktur, malých dílů a až po vzorky s hmotností 50 kg, s maximálním měřicím rozsahem 650 x 550 x 200 mm v XYZ.
Optické nebo multi-senzorové měření v XYZ se širokým zorným polem, volitelně s dotykovou sondou, laserovým autofokusem, rotačním indexerem. Vysoká variabilita a komplexnost měření.
Vysoká rychlost a přesnost optického měření v kombinaci s TTL laserem. Pro striktní kontrolu kvality nebo velkoobjemovou výrobu. Široké spektrum využití, včetně vzorků vyžadujících vysoké rozlišení detailů.
Systém pro automatické měření kritických rozměrů na 6“ – 8“ polovodičových waferech. Integrace video měřicího systému NEXIV VMZ s automatickým podavačem waferů NWL200.