Video měřicí systémy

NEXIV VMZ-NWL200

Video měřicí systém NEXIV VMZ-S, často používaný pro přesná měření v polovodičovém průmyslu, byl integrován s osvědčeným automatickým podavačem waferů Nikon NWL200. Výsledkem je inovativní měřicí stanice s vynikající spolehlivostí a účinností. Speciálně vyvinutý software zjednodušuje komplexní operace, které jsou vyžadovány při kontrole výrobního procesu waferů.

Klíčové vlastnosti
  • Automatizované měření se získáním konzistentních dat
  • Optika Nikon s vysokým rozlišením pro přesnou hranovou detekci
  • Mikronová přesnost a opakovatelnost měření
  • Účinný transportní systém pro rychlou kontrolu celé sady waferů
  • Intuitivní software zjednodušuje práci operátora

Měřicí stanice NEXIV VMZ-NWL200

Řešení pro automatizované měření waferů od Nikonu

Vysoká spolehlivost měření díky vlastní optice Nikon poskytující jasný obraz, který přesně detekuje hrany měřeného objektu.